CleanMill氬離子研磨系統傳統的機械研磨方式制備樣品斷面，斷面不可避免的存在機械損傷和磨料嵌入樣品引起的污染。使用氬離子束切割樣品制備，可以制備出沒有機械損傷和表面污染的平整斷面，非常適用于 制備電池材料和部件的斷面樣品，從而進行掃 描電子顯微鏡結構表征分析。Thermo Scientific CleanMillTM 為電池斷面樣品提供了完善的氬離子束研磨方案，可實現對電子束敏感材料和空氣敏感材料本真狀態下的SEM成像和表征分析。

Thermo  Scientific CleanMillTM 氬(ya)離子(zi)束斷面(mian)研磨(mo)系統（BIB-CP）旨在(zai)(zai)為精(jing)(jing)確的表征提供優質(zhi)高效(xiao)的樣(yang)品制備(bei)方案。其(qi)標配(pei)的 16 keV 超(chao)高能(neng)(neng)離子(zi)源在(zai)(zai)保證研磨(mo)質(zhi)量下具(ju)有更(geng)強(qiang)的濺射能(neng)(neng)力和更(geng)高的研磨(mo)效(xiao)率(lv)。同時，低能(neng)(neng)量離子(zi)源可實現對具(ju)有精(jing)(jing)細結構和易受(shou)離子(zi)束輻(fu)照損(sun)傷(shang)樣(yang)品的無損(sun)精(jing)(jing)拋(pao)和清潔。

CleanMill氬離子研磨系統，諸多電池材料和部件具備電子束敏感和空氣敏感的特性。Thermo Scientific CleanMillTM 與 CleanConnectTM 兼容，使得 Thermo Scientific IGST 工作流程完善。CleanConnect 樣品轉移系 統提供了一套集成化解決方案，允許樣品在惰性氣體 / 真空下快速轉移至電子顯微鏡樣品倉內。這種真空聯鎖解決方案采用直徑達 25mm 的標準樣品臺，極大地簡化了不同樣品在 SEM/DualBeam 系統轉移的工作。樣品可在手套箱內裝載至 CleanConnect 樣品倉內，進而通過 CleanConnect 轉移至 CleanMill 中進行斷面樣品制備。隨后，將CleanMill中制備好的 斷面樣品采用CleanConnect 轉移至 Thermo Scientific SEM 中進行微觀結構表征。整個過程中樣品都處于惰性氣體保護狀態以保證其斷面完整性。該工作流程極大地簡化了樣品轉移工作，提高 了結果獲取速度，實現了在本真狀態下對空氣敏感材料的結構表征。

關鍵優勢 

•高能量離子(zi)槍可實現(xian)快速研磨和(he)拋光

•采用專用90°樣品臺(tai)制備截(jie)面(mian)樣品

•自動(dong)(dong)化參數設置和操(cao)作(zuo)，可實(shi)現樣品旋(xuan)轉和擺動(dong)(dong)操(cao)作(zuo)

•可進行空氣(qi)敏感材料的樣品制備，使得賽默飛(fei)惰(duo)性氣(qi)體樣品轉移工作流程（IGST）更(geng)為(wei)完(wan)善

•配備高分(fen)辨CMOS相機和觸控屏，可實時(shi)觀察樣(yang)品研磨過程

•可選配低能量離(li)子槍(qiang)，實(shi)現對具有精(jing)細結構和易受輻照損傷樣品的 無損精(jing)拋(pao)和清(qing)潔。

•可選配冷臺(tai)，在進行電子束敏感樣品(pin)的冷凍(dong)研磨時(shi)可實現自動(dong)液氮加注

Thermo Scientific CleanMill 與(yu) CleanConnect 和全套 IGST 工作(zuo)流程兼容，實現對空氣敏感材料在本(ben)真狀態下的(de)表征分析(xi)。

規格參數 

離子槍選擇

標配超高能量(liang)離子槍，加速電壓連續(xu)可調

• 2 – 16 keV

• 離(li)子(zi)束電流范圍：20 – 500 A

• 濺射速率(lv)：> 500 m/hr

• 選(xuan)配低能量離子槍

• 加(jia)速(su)電壓：100 eV – 2 keV

• 自動化的離子(zi)源設置

成像系統

帶(dai)有固定X10放大功能的高分辨CMOS相(xiang)機，其(qi)數字放大功能可實 現連續調至(zhi)X120

樣品臺(tai) 

樣(yang)品(pin)傾斜：0°到180°，0.1°增量 樣(yang)品(pin)旋轉：面(mian)內旋轉 ;360°

樣品(pin)擺動：面內搖(yao)擺，從±1°到 ±180°，1°/步

樣品托種類和(he)可承(cheng)載(zai)尺寸 

標準型表面拋光樣品托

•承(cheng)載(zai)樣品尺寸?30 mm x 15 mm CleanConnect兼容樣品托(tuo)：

•表面拋光

o承載樣(yang)品尺(chi)寸?28 mm x 3 mm

o可互(hu)換(huan)樣品托可承載樣品尺寸?20.5 mm x 8.5 mm

•截面拋光

o 90° 樣(yang)品托：承(cheng)載樣(yang)品尺寸 10 mm (長) x 10 mm (寬) x 3 mm (高)

真空系(xi)統(tong)

•無(wu)油隔膜泵(beng)和渦輪分子泵(beng)，帶（皮拉尼/潘寧(ning)）真空計

氣(qi)體(ti)供應體(ti)統

•氬氣(qi) （純度(du)99.999%）

•高(gao)精(jing)度氣體(ti)流量控制系(xi)統

計算機控制系統

•易操作的觸控(kong)屏圖形用戶界面（Touch GUI）

o 系(xi)統設置

o 研(yan)磨參數設置

o 操(cao)作控制(zhi)

• Touch GUI采(cai)用Windows 11系統

可選配件

• 帶有自動加注功(gong)能的(de)液氮制冷臺，可實現無間斷冷凍磨拋

• 樣品調節定位裝置

• 其他備件(jian)和易耗(hao)損件(jian)

• 適用于可加(jia)載CleanConnect的手(shou)套箱(xiang)端口裝置

保修(xiu)和培(pei)訓

• 1年保修

• 設(she)計簡(jian)化，僅需簡(jian)單培訓

• 包含使用說明的用戶手冊

安裝(zhuang)要求

• 預留(liu)安(an)裝端口(kou) (其他附件不能共用(yong)此端口(kou))

• 環境：與普通顯微(wei)鏡的要求相同，見預安裝手冊

• 儀器右側必須留有(you)足夠空間，以(yi)便使(shi)用CleanConnect轉(zhuan)移(yi)桿

• 系統尺(chi)寸(cun)： 70 cm (寬) x 70 cm (深) x 61 cm (高)

由CleanMill制備的NMC陰極(ji)(ji)極(ji)(ji)片截面，采用Apreo 2S成(cheng)像