產品介紹

XTrace-基于SEM高性能微區熒光光譜儀

   XTrace是一(yi)款可搭配在(zai)任意一(yi)臺具有傾斜(xie)法蘭槽 SEM上的(de)(de)微焦點Ｘ射(she)線(xian)源。利用(yong)(yong)該(gai)設備(bei)可使SEM具備(bei)完整意義上的(de)(de)微區 XRF光譜分(fen)析能力。對于中等元(yuan)(yuan)素(su)至重元(yuan)(yuan)素(su)范圍內的(de)(de)元(yuan)(yuan)素(su)，其檢測(ce)限(xian)提高了 20-50倍。此外，因為Ｘ射(she)線(xian)的(de)(de)信號激發深度深于電(dian)子束，利用(yong)(yong)該(gai)設備(bei)還(huan)可以檢測(ce)更(geng)深層次(ci)樣品的(de)(de)信息(xi)。

XTrace-基于SEM高性能微區熒光光譜儀采用了Ｘ射線毛細導管技術，利用該技術，即使在非常小的樣品區域也能產生很高的熒光強度。Ｘ射線毛細導管將Ｘ射線源的大部分射線收集，并將其聚焦成直徑35微米的一個Ｘ射線點。
      利用QUANTAX EDS*系統的 XFlash®系列電制冷能譜探頭即可對所產生的Ｘ射線熒光光譜進行采集。 XFlash®電制冷能譜探頭使整個系統具備了非常高的能量分辨率，同時兼具了強大的信號采集能力。比如，利用有效面積 30 mm²的探頭在分析金屬元素時的輸入計數率可達 40 kcps。
      Ｘ射線毛細導管技術使熒光強度得到極大的增強，同時，熒光光譜的背底較低，這些都提高了系統對痕量元素的敏感度。相較于電子束激發的信號，其檢測限可提高 20-50倍。而且，因為Ｘ射線源激發信號對于高原子序數元素更有效，所以高原子序數元素檢測限可提高至 10ppm。
       QUANTAX能譜儀系統和微區熒光光譜儀系統可在同一用戶界面內結合使用，從而互相補強，實現定量分析結果的優化。

用戶友好型設計
聚焦于分析任務，而非繁瑣的系統設置
       利用ESPRIT HyperMap進行面分布分析的同時采集了所有的數據并存儲，便于后續的離線分析。
       樣品可利用 EDS系統和 micro-XRF系統并行進行分析，而無需任何的樣品移動。
       兩種分析方法無縫整合在同一分析軟件 ESPRIT中，切換分析方法只需輕點鼠標。
       XTrace不會干擾任何 SEM及EDS操作。
僅需點滴投入，即可獲得獨立微區熒光光譜儀的強大功能
       分析結果可與獨立系統媲美。
       樣品傾斜后可對更大區域進行面分布
       提供三個初級濾片以壓制衍射峰
       直接利用掃描電鏡樣品臺，無需其他的樣品臺裝置。
       通過掃描電鏡樣品臺的旋轉輕松避免譜圖中衍射峰的出現。
       可傾斜樣品(pin)以獲得(de)小束斑直徑。